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江苏省产业技术研究院先进金属材料研究所首席研究员韩刚教授为材料学院师生作报告

   发布时间: 2020-01-08    已浏览: 10

17日上午,江苏省产业技术研究院先进金属材料研究所首席研究员韩刚教授在材料楼219报告厅作了题为射频等离子材料制备技术及应用的学术报告,此次报告会由材料科学与工程学院副院长魏伟主持,材料学院部分师生参加了本次报告。

韩刚首先介绍了等离子体和大功能等离子炬的基本结构及工作原理,通过控制介质气体的流态提高等离子体的稳定性。接着向大家介绍了热等离子体液滴精炼制备超高纯度粉体:在芯片制造领域,离子溅射镀膜不仅要求溅射靶材的纯度大于99.999%,还需要靶材晶粒度及取向精密控制高密度无缺陷,而现如今主流的制造工艺熔炼加工工艺纯度高但晶粒粗大且组织不易控粉末冶金工艺纯度低。韩刚提到,新一代芯片靶材技术应向超高纯度和微观组织的精密控制方向开发。射频等离子技术作为新兴技术自1961年发现到现在,由实验室步入工业化,在这条路上,韩刚希望有更多的学者能够一起努力,将这项技术集成化、大型化、生产效率化。

报告期间,韩刚与现场师生展开了亲切互动,针对报告的一些内容进行深入交流,最后,报告会在热烈掌声中圆满结束。